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| 參數(shù) | 避坑建議 | 推薦配置 |
|---|---|---|
| 流量? | 檢查流量穩(wěn)定性,確認(rèn)是否帶自動(dòng)補(bǔ)償 | 根據(jù)潔凈室等級(jí)匹配,高等級(jí)選大流量 |
| 粒徑? | 確認(rèn)最小粒徑是否滿足未來(lái)工藝升級(jí) | 半導(dǎo)體選0.1μm,制藥選0.3μm起 |
| 計(jì)數(shù)效率? | 必須要求提供第三方校準(zhǔn)報(bào)告 | 嚴(yán)格遵循ISO 21501-4標(biāo)準(zhǔn) |
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